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科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机,近日又取得新突破,该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测,配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功,不仅填补了行业空白,而且保证了关键性技术的保密性,为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。
该系统选取特定的的光谱分析结合在一起多余泛光灯,安全运用新一代 的测验线路图及检测形式,较大增强了系统的可靠性强,精密度及质量。日前安全运用系统平率修正可靠性强,精密度相当于±5PPM,合理率98.5%及以上,几项指标值符合国际性一流水平面。持有选择知识与技能产权证的系统研发项目管理,使集团公司具备有不断地技术创新实力,过系统在线升级,需加工更大中型的1mm毫米品类的产品。
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